VS-6556最大運動半徑為650mm，最大可搬質(zhì)量5Kg，標(biāo)準(zhǔn)往復(fù)時間0.4秒（負(fù)載1Kg時），重復(fù)定位精度±0.02mm，VS-6577最大運動半徑為850mm，最大可搬質(zhì)量5Kg，標(biāo)準(zhǔn)往復(fù)時間0.5秒（負(fù)載1Kg時），重復(fù)定位精度±0.03mm。全系列均配有無塵室專用及防塵防水式樣。
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